全自動(dòng)磷化線工作流程

1.前處理：晶圓清洗、去氧化層、活化表面。

2.裝載：將晶圓固定于旋轉(zhuǎn)載具，浸入鍍液。

3.電鍍：

施加電流，金屬離子在晶圓表面還原沉積。

旋轉(zhuǎn)載具確保鍍液流動(dòng)均勻，消除厚度差異。

4.后處理：鍍層退火、清洗、干燥。

技術(shù)特點(diǎn)

1.高均勻性：

旋轉(zhuǎn)+噴淋設(shè)計(jì)減少“邊緣增厚”現(xiàn)象，鍍層均勻性達(dá)±5%以內(nèi)。

2.精密控制：電流密度精度：±1 mA/cm2；溫度波動(dòng)：±0.5℃。

3.潔凈度保障：設(shè)備內(nèi)建HEPA過(guò)濾系統(tǒng)，滿足Class 1000以下潔凈環(huán)境。

4.高效生產(chǎn)：支持多片晶圓同時(shí)處理（如6片/批次），UPH（每小時(shí)產(chǎn)量）可達(dá)50~100片。

應(yīng)用場(chǎng)景

1.先進(jìn)封裝：2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。

2.功率器件：IGBT、MOSFET背面金屬化（鍍銀、鍍鎳）。

3.傳感器與MEMS：微結(jié)構(gòu)表面鍍金，提升電氣性能與可靠性。 汽車(chē)輪轂電鍍?cè)O(shè)備配置多軸旋轉(zhuǎn)掛具，360 度無(wú)死角電鍍，滿足復(fù)雜曲面的均勻鍍層要求。江蘇高精密電鍍?cè)O(shè)備

龍門(mén)式自動(dòng)線通過(guò)龍門(mén)機(jī)械手（橫跨電鍍槽上方的移動(dòng)框架）和懸掛系統(tǒng)，將工件按預(yù)設(shè)程序在不同工藝槽（如除油、電鍍、水洗等）間自動(dòng)轉(zhuǎn)移，全程由PLC（可編程邏輯控制器）控制，實(shí)現(xiàn)無(wú)人化連續(xù)生產(chǎn)。

組成

1.龍門(mén)機(jī)械

手采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，雙立柱+橫梁結(jié)構(gòu)，負(fù)載能力可達(dá)200-1000kg行程精度：±0.1mm（機(jī)型可達(dá)±0.05mm）移動(dòng)速度：水平0.5-2m/s，升降0.2-0.5m/s

2.軌道系統(tǒng)

精密導(dǎo)軌+齒輪齒條傳動(dòng)，支持多工位并行作業(yè)防腐蝕設(shè)計(jì)（不銹鋼或鍍層保護(hù)），適應(yīng)酸堿環(huán)境

3.掛具系統(tǒng)

定制化夾具，適配不同工件形狀（如支架、吊籃）導(dǎo)電觸點(diǎn)采用銀/銅復(fù)合材料，接觸電阻＜0.05Ω

4.控制系統(tǒng)

PLC+觸摸屏（HMI），預(yù)設(shè)上百種工藝配方實(shí)時(shí)監(jiān)控電流、溫度、pH值，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)追溯

江蘇高精密電鍍?cè)O(shè)備模塊化電鍍?cè)O(shè)備支持槽體自由組合，可快速切換掛鍍、滾鍍模式，靈活適配多品種小批量生產(chǎn)需求。

電泳生產(chǎn)線是一種基于電泳涂裝技術(shù)（Electrophoretic Deposition, EPD）的自動(dòng)化生產(chǎn)線，主要用于在工件表面均勻涂覆一層涂料（通常為水性漆），形成具有防腐、裝飾或功能性的涂層。

其原理:

利用電場(chǎng)作用，使帶電的涂料粒子定向遷移并沉積在工件表面，是現(xiàn)代工業(yè)中常用的高效涂裝工藝之一。

電泳生產(chǎn)線的主要應(yīng)用領(lǐng)域

1.汽車(chē)工業(yè)

汽車(chē)車(chē)身、底盤(pán)部件、發(fā)動(dòng)機(jī)零件、車(chē)輪等的底漆涂裝，是汽車(chē)防腐的關(guān)鍵工藝（如整車(chē)電泳涂裝線）。

2.家電與電子

冰箱、洗衣機(jī)、空調(diào)等金屬外殼，以及電子元件、電機(jī)部件的防腐涂裝。

3.五金與建材

門(mén)窗型材（鋁合金電泳）、衛(wèi)浴五金、工具、醫(yī)療器械等的表面處理。

4.航空航天與船舶鋁合金部件的防腐涂裝，海洋設(shè)備的耐鹽霧涂層。

電鍍滾鍍機(jī)與電鍍生產(chǎn)線的關(guān)系

從屬關(guān)系：滾鍍機(jī)是電鍍生產(chǎn)線的執(zhí)行設(shè)備之一

1.電鍍生產(chǎn)線的系統(tǒng)構(gòu)成

電鍍生產(chǎn)線是涵蓋前處理（除油、酸洗）→電鍍處理（鍍槽設(shè)備）→后處理（清洗、鈍化、干燥）→自動(dòng)化控制的完整流程系統(tǒng)，目標(biāo)是通過(guò)電化學(xué)原理在工件表面沉積金屬鍍層（如鍍鋅、鎳、銅、鉻等）。

關(guān)鍵設(shè)備包括：鍍槽（如滾鍍機(jī)、掛鍍槽、連續(xù)鍍?cè)O(shè)備）、電源、過(guò)濾循環(huán)系統(tǒng)、加熱/冷卻裝置、傳輸裝置（如行車(chē)、鏈條）等。

2.滾鍍機(jī)的定位

滾鍍機(jī)是電鍍處理環(huán)節(jié)中用于批量小件電鍍的鍍槽設(shè)備，屬于電鍍生產(chǎn)線的“執(zhí)行單元”，主要解決小尺寸、大批量工件（如螺絲、電子元件、五金件）的高效電鍍問(wèn)題。與掛鍍機(jī)（適用于大件或精密件，單個(gè)懸掛電鍍）、籃鍍（半手工操作，適用于中等尺寸工件）共同構(gòu)成電鍍生產(chǎn)線的不同鍍槽類(lèi)型。 掛具設(shè)計(jì)作為電鍍?cè)O(shè)備附件，采用導(dǎo)電性能優(yōu)異的銅合金或不銹鋼，減少接觸電阻以保障電流均勻傳導(dǎo)。

電鍍周邊設(shè)備有哪些？

1.鍍槽：是電鍍加工的設(shè)備，用于盛放電鍍液，為電鍍提供反應(yīng)場(chǎng)所。根據(jù)電鍍工藝和工件的不同，鍍槽的材質(zhì)、形狀和尺寸也各不相同，常見(jiàn)的有聚丙烯、聚四氟乙烯等材質(zhì)制成的鍍槽。

2.整流器：其作用是將交流電轉(zhuǎn)換為直流電，為電鍍過(guò)程提供穩(wěn)定的電流。電鍍過(guò)程需要精確控制電流的大小和穩(wěn)定性，以確保電鍍層的質(zhì)量和性能。

3.過(guò)濾機(jī)：用于過(guò)濾電鍍液中的雜質(zhì)、顆粒和懸浮物，保持電鍍液的清潔度。過(guò)濾機(jī)通常采用濾芯式或?yàn)V袋式過(guò)濾，可根據(jù)電鍍液的性質(zhì)和過(guò)濾精度要求選擇不同的過(guò)濾材料。

4.加熱和冷卻裝置：加熱裝置通常采用電加熱或蒸汽加熱的方式，而冷卻裝置則多采用冷水機(jī)或冷卻塔進(jìn)行冷卻。

5.攪拌設(shè)備：包括機(jī)械攪拌和空氣攪拌等方式。

6.掛具：用于懸掛和固定待電鍍的工件，使工件能夠在電鍍槽中與電鍍液充分接觸，并保證電流均勻地通過(guò)工件。7.行車(chē)：主要用于在電鍍車(chē)間內(nèi)吊運(yùn)工件、原材料和成品等重物。

8.廢氣處理設(shè)備：電鍍過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生各種有害氣體，如酸霧、堿霧和重金屬?gòu)U氣等。廢氣處理設(shè)備通常采用噴淋塔、活性炭吸附裝置、催化燃燒裝置等，對(duì)廢氣進(jìn)行凈化處理，達(dá)標(biāo)后排放。 離心干燥設(shè)備適配滾鍍后工件，通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)甩干水分，避免傳統(tǒng)熱風(fēng)干燥的能耗與時(shí)間損耗。江蘇高精密電鍍?cè)O(shè)備

刷鍍?cè)O(shè)備通過(guò)手持導(dǎo)電筆局部涂覆電解液，適用于機(jī)械零件磨損修復(fù)或特殊形狀工件的局部電鍍。江蘇高精密電鍍?cè)O(shè)備

小型電鍍實(shí)驗(yàn)槽是材料表面處理領(lǐng)域的重要工具，主要用于工藝研發(fā)、樣品制備及教學(xué)演示，具體作用如下：

工藝優(yōu)化與鍍液研發(fā)：可探索電鍍工藝參數(shù)（如鍍液成分、電流密度、溫度等）對(duì)鍍層質(zhì)量的影響，通過(guò)調(diào)控參數(shù)分析鍍層的厚度、均勻性、光澤度等指標(biāo)，為工業(yè)化生產(chǎn)篩選比較好工藝方案。同時(shí)，支持新型鍍液配方的小試實(shí)驗(yàn)，評(píng)估鍍層的耐腐蝕性、耐磨性等性能，助力環(huán)保型、功能性鍍液的開(kāi)發(fā)與改良。

精細(xì)制備小批量樣品：在科研場(chǎng)景中，能精確控制電鍍過(guò)程，為材料科學(xué)、表面工程等領(lǐng)域提供少量高質(zhì)量樣品，用于微觀結(jié)構(gòu)分析、成分分布檢測(cè)等基礎(chǔ)研究；在產(chǎn)品開(kāi)發(fā)階段，可快速制備電鍍?cè)嚇?，幫助企業(yè)驗(yàn)證新產(chǎn)品的外觀與性能，提前優(yōu)化設(shè)計(jì)，降低大規(guī)模生產(chǎn)的試錯(cuò)成本。

教學(xué)實(shí)踐與科普展示：作為教育工具，支持學(xué)生親身體驗(yàn)電鍍?cè)砼c操作流程，通過(guò)調(diào)節(jié)參數(shù)觀察實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象，培養(yǎng)實(shí)踐動(dòng)手能力與科學(xué)思維；在科普活動(dòng)中，以直觀的電鍍過(guò)程演示，向公眾展示表面處理技術(shù)的魅力，激發(fā)對(duì)材料科學(xué)的興趣。其緊湊設(shè)計(jì)與靈活可控性，使其成為連接理論研究與實(shí)際應(yīng)用的關(guān)鍵橋梁，兼具科研價(jià)值、生產(chǎn)指導(dǎo)意義與教育功能。編輯分享 江蘇高精密電鍍?cè)O(shè)備