高精度、高效率高精度與高效率是超精密加工永恒的主題?？偟膩碚f，固著磨粒加工不斷追求著游離磨粒的加工精度，而游離磨粒加工不斷追求的是固著磨粒加工的效率。當前超精密加技術(shù)如CMP、EEM等雖能獲得極高的表面質(zhì)量和表面完整性，但以失去加工效率為保證。超精密切削、磨削技術(shù)雖然加工效率高，但無法獲得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顧效率與精度的加工方法，成為超精密加工領(lǐng)域研究人員的目標。半固著磨粒加工方法的出現(xiàn)即體現(xiàn)了這一趨勢。另一方面表現(xiàn)為電解磁力研磨、磁流變磨料流加工等復合加工方法的誕生。超快激光采用的超短脈沖激光是利用場效應進行加工，不僅可以達到更高的精度，并且不會對材料表面造成損傷。韓國加工超精密半導體流量閥

精密、超精密加工技術(shù)是提高機電產(chǎn)品性能、質(zhì)量、工作壽命和可靠性，以及節(jié)材節(jié)能的重要途徑。如：提高汽缸和活塞的加工精度，就可提高汽車發(fā)動機的效率和馬力，減少油耗；提高滾動軸承的滾動體和滾道的加工精度，就可提高軸承的轉(zhuǎn)速，減少振動和噪聲；提高磁盤加工的平面度，從而減少它與磁頭間的間隙，就可提高磁盤的存儲量；提高半導體器件的刻線精度（減少線寬，增加密度）就可提高微電子芯片的集成度。工業(yè)發(fā)達國家的一般工廠已能穩(wěn)定掌握3 μm的加工精度（我國為5 μm）。同此，通常稱低于此值的加工為普通精度加工，而高于此值的加工則稱之為高精度加工。超快激光超精密分配板納米級的超精密加工也稱為納米工藝(nano-technology) 。

精密激光打孔是激光微加工重要的一方面，其應用范圍很廣，包括金屬鉆孔，陶瓷鉆孔，半導體材料鉆孔，玻璃鉆孔，柔性材料鉆孔等等，尤其是針對一些堅硬易碎或者彈性較大的材料，如西林瓶打孔、安瓿瓶打孔、輸液袋打孔等氣密性檢測相關(guān)，陶瓷，藍寶石，薄膜等優(yōu)勢尤為明顯。由于激光打孔具有效率高、成本低及綜合技術(shù)經(jīng)濟效益好等優(yōu)點，已經(jīng)成為超精密激光打孔認可設備。解決超精密激光打孔長期的痛點。1、激光打孔機的技術(shù)已經(jīng)越來越成熟，不單單可以進行打孔，還能切割、焊接一體化，屬于多功能激光一體機。激光打孔是利用高性能激光束對樣品進行瞬時打孔，激光束打孔無需接觸，熱變形極小，所以也就解決了傳統(tǒng)機械打孔出現(xiàn)變形的問題。2、激光打孔機具備加工速度快、效率高、直邊割縫小、割面光滑，可獲得大的深徑比和深寬比，激光打出來的孔徑均勻、大小一致，誤差極小。3、激光打孔機可在硬、脆、軟等各種材料上進行精細打孔切割。節(jié)省人工，提高產(chǎn)能，傻瓜式操作無需儲備技術(shù)人才，操作簡單輕易上手。超精密激光打孔機打孔速度非?？?，將高效能激光器與高精度的機床及控制系統(tǒng)配合，通過微處理機進行程序控制，實現(xiàn)高效率打孔。

超精密加工技術(shù)是指加工精度達到亞微米級甚至納米級的制造技術(shù)，主要包括超精密車削、磨削、銑削和電化學加工等方法。這些方法能夠?qū)崿F(xiàn)對硬脆材料、難加工材料和功能材料的精確加工，適用于光學元件、微型機械、生物醫(yī)療器件等領(lǐng)域。常見的超精密加工方法有：1.超精密車削：使用金剛石刀具進行加工，能夠?qū)崿F(xiàn)對非球面和自由曲面的高精度加工。2.超精密磨削：采用超硬磨料磨具，適用于加工硬質(zhì)合金、陶瓷等高硬度材料。3.超精密銑削：利用金剛石或立方氮化硼刀具，適用于復雜形狀零件的高精度加工。4.超精密電化學加工：通過電解作用去除材料，適用于加工微細、復雜結(jié)構(gòu)的零件。超精密加工技術(shù)的發(fā)展對提高我國制造業(yè)的國際競爭力具有重要意義。超精密加工中的超微細加工技術(shù)是指制造超微小尺寸零件的加工技術(shù)。

超精密加工技術(shù)的特點及其應用超精密加工目前尚沒有統(tǒng)一的定義，在不同的歷史時期，不同的科學技術(shù)發(fā)展水平情況下，有不同的理解。通常我們把被加工零件的尺寸精度和形位精度達到零點幾微米，表面粗糙度優(yōu)于百分之幾微米的加工技術(shù)稱為超精密加工技術(shù)。超精密加工的重要手段包括①超精密切削，如超精密金剛石刀具鏡面車削、銷削和銑削等;②超精密磨削、研磨和拋光;③超精密微細加工(電子束、離子束、激光束加工以及微硅器件的加工、LIGA技術(shù)等)。航空及航海工業(yè)中導航儀器上特殊精密零件、雷射儀、光學儀器等也會運用超精密加工的技術(shù)。微米級超精密超細孔

超精密激光表面處理的特點是無需使用外加材料，只改變被處理材料表面層的組織結(jié)構(gòu)，被處理件變形很小。韓國加工超精密半導體流量閥

通過介于工件和工具間的磨料及加工液，工件及研具作相互機械摩擦，使工件達到所要求的尺寸與精度的加工方法。對于金屬和非金屬工件都可以達到其他加工方法所不能達到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025μm，加工變質(zhì)層很小，表面質(zhì)量高。精密研磨的設備簡單，主要用于平面、圓柱面、齒輪齒面及有密封要求的配偶件的加工，也可用于量規(guī)、量塊、噴油嘴、閥體與閥芯的光整加工。但精密研磨的效率較低（如干研速度一般為10 - 30m/min，濕研速度為20 - 120m/min），對加工環(huán)境要求嚴格，如有大磨料或異物混入時，將使表面產(chǎn)生很難去除的劃傷。拋光是利用機械、化學、電化學的方法對工件表面進行的一種微細加工，主要用來降低工件表面粗糙度，常用的方法有手工或機械拋光、超聲波拋光、化學拋光、電化學拋光及電化學機械復合加工等。手工或機械拋光是用涂有磨膏的拋光器，在一定的壓力下，與工件表面做相對運動，以實現(xiàn)對工件表面的光整加工，加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05μm，可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的拋光加工，手工拋光的加工效果與操作者的熟練程度有關(guān)。超聲波拋光是利用工具端面做超聲振動，通過磨料懸浮液對硬脆材料進行光整加工。韓國加工超精密半導體流量閥