廣東華芯半導體技術有限公司2025-06-06
通過 PID 串級控制算法,真空度與甲酸濃度形成動態(tài)聯動:當真空度低于 5Pa 時,自動降低甲酸流量以避免過度活化;當真空度高于 10Pa 時,提升甲酸濃度補償氧化風險。廣東華芯半導體技術有限公司的設備可實現真空 - 濃度曲線的自定義編程,適應復雜工藝需求。
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