電子探針(Electron Probe Microanalysis)是一種利用電子束作用樣品后產(chǎn)生的特征X射線進行微區(qū)成分分析的儀器, [1]可以用來分析薄片中礦物微區(qū)的化學組成。除H、He、Li、Be等幾個較輕元素外,還有U元素以后的元素以外都可進行定性和定量分析。電子探針的大批量是利用經(jīng)過加速和聚焦的極窄的電子束為探針,激發(fā)試樣中某一微小區(qū)域,使其發(fā)出特征X射線,測定該X射線的波長和強度,即可對該微區(qū)的元素作定性或定量分析。電子探針顯微分析原理及其發(fā)展的初期是建立在X射線光譜分析和電子顯微鏡這兩種技術基礎上的,該儀器實質上就是這兩種儀器的科學組合。背散射電子圖像系統(tǒng)。金山區(qū)品牌探針五星服務
2)X射線能譜分析法。無須分析晶體,而直接將探測器接收的訊號加以放大,進行脈沖幅度分析,通過選擇不同的脈沖幅度來確定入射x射線的能量,從而區(qū)分不同的特征X射線。計算時應用布拉格方程:nλ=2dsinθ。 [2]1、能進行微區(qū)分析。可分析數(shù)個μm3內(nèi)元素的成分。2、能進行現(xiàn)場分析。無需把分析對象從樣品中取出,可直接對大塊試樣中的微小區(qū)域進行分析。把電子顯微鏡和電子探針結合,可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯(lián)系起來。3、分析范圍廣。Z>4其中,波譜:Be~U,能譜:Na~U。靜安區(qū)品牌探針生產(chǎn)廠家近年來半導體制程技術突飛猛進,超前摩爾定律預估法則好幾年,現(xiàn)階段已向7奈米以下挺進。
(1)電子光學系統(tǒng)。電子束直徑0.1~1μm,電子束穿透深度1~3μm。被激發(fā)原子發(fā)射特征X射線譜過程如下:圍繞原子核運動的內(nèi)層電子,被電子束的電子轟擊后,其他外層電子為補充轟擊出的電子而發(fā)生躍遷,在躍遷過程中釋放出能量,即發(fā)射出X射線。(2)X射線譜儀。測量各種元素產(chǎn)生的X射線波長和強度,并以此對微小體積中所含元素進行定性和定量分析。特征X射線圖像顯像管的原理是:X射線束入射到一已知晶面間距的晶體上(X射線分光光度計的彎曲晶體上),經(jīng)衍射后各種波長的X射線按不同的布拉格角彼此分開,因此如轉動晶體,改變衍射角,同時以兩倍于晶體的轉速轉動計數(shù)器,就可以依次測量出各種元素所產(chǎn)生的X射線波長和強度,達到定性和定量分析的目的。
電子探針儀(圖1)主要包括:探針形成系統(tǒng) (電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線信號檢測系統(tǒng)和顯示、記錄系統(tǒng)、樣品室、高壓電源和掃描系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。電子探針的**早應用領域是金屬學。對合金中各組成相、夾雜物等可作定性和定量分析,直觀而方便,還能較準確地測定元素的擴散和偏析情況。此外,它還可用于研究金屬材料的氧化和腐蝕問題,測定薄膜、滲層或鍍層的厚度和成分等,是機械構件失效分析、生產(chǎn)工藝的選擇、特殊用材的剖析等的重要手段。圖2為鎂合金中稀土氧化物在晶界析出的電子探針分析照片。它的作用是選擇和確定分析點。
電子探針可以對試樣中微小區(qū)域(微米級)的化學組成進行定性或定量分析??梢赃M行點、線掃描(得到層成分分布信息)、面掃描分析(得到成分面分布圖像)。還能全自動進行批量(預置9999測試點)定量分析。由于電子探針技術具有操作迅速簡便(相對復雜的化學分析方法而言)、實驗結果的解釋直截了當、分析過程不損壞樣品、測量準確度較高等優(yōu)點,故在冶金、地質、電子材料、生物、醫(yī)學、考古以及其它領域中得到日益***地應用,是礦物測試分析和樣品成分分析的重要工具。X射線譜儀。測量各種元素產(chǎn)生的X射線波長和強度,并以此對微小體積中所含元素進行定性和定量分析。靜安區(qū)品牌探針生產(chǎn)廠家
當某一X射線光子進入計數(shù)管后,管內(nèi)氣體電離,并在電場作用下產(chǎn)生電脈沖信號。金山區(qū)品牌探針五星服務
體外轉錄技術不斷完善,已相繼建立了單向和雙向體外轉錄系統(tǒng)。該系統(tǒng)主要基于一類新型載體pSP和pGEM,這類載體在多克隆位點兩側分別帶有SP6啟動子和T7啟動子,在SP6RNA聚合酶或T7RNA聚合酶作用下可以進行RNA轉錄,如果在多克隆位點接頭中插入了外源DNA片段,則可以此DNA兩條鏈中的一條為模板轉錄生成RNA。這種體外轉錄反應效率很高,在1h內(nèi)可合成近10μg的RNA產(chǎn)生,只要在底物中加入適量的放射性或生物素標記的NTP,則所合成的RNA可得到高效標記。該方法能有效地控制探針的長度并可提高標記物的利用率。金山區(qū)品牌探針五星服務
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